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扫描电镜（SEM）的低真空模式是其操作模式之一，而扫描电镜的真空系统则是其重要组成部分。
扫描电镜的真空系统主要是为了创造一个良好的工作环境，以保护电子枪、透镜和检测器等关键部件免受污染和氧化，真空环境还能防止样品受到污染并提高其分辨率，SEM通常需要在高真空环境下工作，但在某些情况下，如观察某些在大气环境下稳定的样品或在生物样品中保持水分等，低真空模式就显得尤为重要，在低真空模式下，扫描电镜可以在较低的气压环境下工作，这通常是通过降低真空系统的压力来实现的，这种模式下，电子枪发射的电子在加速电压的作用下轰击样品，产生各种信号，这些信号被收集并转化为图像，低真空模式还允许在相对短的时间内快速成像，这对于观察随时间变化的动态过程特别有用，低真空模式也有助于避免某些在高真空环境下可能出现的样品充气和变形等问题。
扫描电镜的低真空模式是适应特定应用需求的一种操作模式，而扫描电镜的真空系统则是保证设备正常工作和获得高质量图像的关键部分。